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澳门新萄京最大平台超精密加工是指加工零件的尺寸公差为0.001μm数量级,表面粗糙度RZ  值为0.001 μm数量级的加工方法,澳门新萄京最大平台加工中所使用的设备的分辨率和重复精度为0.01μm数量级。目前,超精密加工的精度正从微米工艺向纳米工艺提高。微米工艺是指精度为1~10-2μm 的微米、亚微米级工艺,而纳米(nm)工艺是指精度为10-2 ~10-3  μm的纳米级工艺(1μm=103 nm).

另外,经常提到的微细加工和超微细加工是指进行微小尺寸的加工,与一般尺寸加工有区别。一般尺寸加工时,精度是用误差尺寸与所要求的加工尺寸之比来表示的;而在微细加工时,必须用尺寸的绝对值来表示、这是由于在材料物质内部微细区域的不均匀性和不连续性所引起的。这里有必要引入加工单位尺寸或称加工单位的概念,它是指切屑大小,即要去除的一块材料的大小,所以对微细加工来说,加工单位的现实限度是分子、原子。人们将微细尺寸(1μm)的精密加工成为微米工艺,将超微细尺寸(1nm)的超精密加工称为纳米工艺。另外,微细尺寸的加工称为微细加工,超微细尺寸的加工称为超微细加工;



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